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根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对码盘、圆光栅线条的黑白比以及曝光量和其均匀性误差之间的内在关系进行了分析,并给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的码盘、圆光栅的均匀性误差较小。
曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响
【摘 要】
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根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对码盘、圆光栅线条的黑白比以及曝光量和其均匀性误差之间的内在关系进行了分析,并给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2005年12期
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