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根据摆线齿轮齿廓曲线的特点，以极坐标测量原理为基础，提出径向跟踪测量方法并采用直线电机作为实时跟踪装置。该技术不仅避免了测球相对于齿面的打滑和卡死现象，而且还可保持测量过程中测球与齿廓表面的测量力基本恒定。对等间隔啮合相位角采样下的测量点在齿廓上的分布情况、实施跟踪测量的方案、硬件电路设计及数据处理进行详细的论述。同时，应用误差补偿技术对跟踪误差和测头调整误差进行了修正。通过实验，求出摆线齿轮全齿廓上各个测量点的法向误差。