【摘 要】
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研究了用改进Lely法制备SiC单晶的过程中坩埚石墨化度对物质传输和晶体生长速度的影响。在不同温度下进行石墨化处理得到了实验所用的坩埚。用XRD方法定量测定了晶体生长前坩
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研究了用改进Lely法制备SiC单晶的过程中坩埚石墨化度对物质传输和晶体生长速度的影响。在不同温度下进行石墨化处理得到了实验所用的坩埚。用XRD方法定量测定了晶体生长前坩埚的石墨化度,并用SEM分析了晶体牛长后坩埚内壁的反应情况。实验结果表明,石墨坩埚在SiC晶体生长过程中是一个非常重要的碳源提供者；当坩埚的石墨化程度较低时,晶体的生长速度快,生长速度由生长温度所控制；随着坩埚石墨化程度的提高,晶体生长速度减慢并由坩埚石墨化度所控制：当石墨化度进一步提高的时候,籽晶被碳化,晶体不能正常生长。
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