新型RF MEMS开关的动态表征

来源 :华东师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mayf014

【摘要】

：

一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko

【作者】

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张永华刘蕾丁桂甫蔡炳初赖宗声

【机构】

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华东师范大学微电子电路与系统研究所,上海交通大学微纳科学技术研究院

【出处】

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华东师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2007年5期

【关键词】

：

微电子机械系统射频开关双稳态动态测量 micro-electro-mechanical systems radio frequency switch

【基金项目】

：

国家863计划（2003AA404140）,信息产业部电科院预研（41308050116）,国家自然科学基金（60676047）,上海-应用材料研究发展基金（06SA11）,上海交通大学优秀博士学位论文基金

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一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关，由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持“开”或“关”态时不需要功耗，从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统（DMEMS），对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动，开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20μs.

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