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提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量.该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求.
IC晶片关键尺寸标定的新方法研究
【摘 要】
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提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量.该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度
【机 构】
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广东工业大学信息工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年12期
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