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利用强流脉冲（HCPEB）电子柬技术，对AISI304L奥氏体不锈钢进行了辐照处理，并利用透射电子显微镜对HCPEB诱发的空位簇缺陷进行了表征。实验结果表明，HCPEB辐照金属可在辐照表层诱发大量的过饱和空位，并形成空位型位错圈和堆垛层错四面体（SFT）。利用金相显微镜、扫描电子显微镜和非接触式光学轮廓仪，对其表面形貌进行了详细的表征，发现电子束处理后的样品表面形成了高密度、弥散分布和尺寸细小的微孔，表面微孔是由于HCPEB轰击诱发的大量空位（簇）缺陷，以线或面等结构缺陷为路径，向表层迁移导致空位的累积而