高功率微脉冲磁控溅射制备氮化钛薄膜及其腐蚀性能研究

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利用高功率微脉冲磁控溅射技术,在不锈钢表面制备了TiNx薄膜。所获得的TiNx薄膜光滑且致密,具有(220)晶体取向。通过电化学工作站在3.5%wt的NaCl和0.5mol/L的H2SO4溶液中测试了其耐腐蚀性能。结果表明,在上述溶液中,钢基底表面沉积TiNx薄膜后,其开路电位(OCP)均更正,腐蚀电流密度(Icorr)更低,表明TiNx薄膜可提高钢基底在NaCl和H2SO4溶液中的耐蚀性。
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