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本文介绍的干涉仪具有体积小、易加工、抗振性能好、便于可逆计数等优点.不但可以用到高精度的测长机上,而且还可以用于线纹尺检验,精密尺度刻划中的微定位,以及精密丝杆检查等方面.
精密长度测量和微定位中的一种激光干涉仪
【摘 要】
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本文介绍的干涉仪具有体积小、易加工、抗振性能好、便于可逆计数等优点.不但可以用到高精度的测长机上,而且还可以用于线纹尺检验,精密尺度刻划中的微定位,以及精密丝杆检查等方面.
【机 构】
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北京科学仪器厂
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1975年2期
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