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采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯钨中26种痕量杂质元素,讨论了溶样方式,研究了质谱干扰和钨基体效应,应用屏蔽炬技术消除56Ar O+等多原子离子对Fe、Ca、K等元素的干扰,采用在线样品标准加入法消除基体效应。各元素的方法检出限(15σ)为0.03~0.45μg/g,对样品加标0.5μg/g的回收率在88%~116%之间。方法适用于纯度为99.999%的高纯钨中痕量杂质元素的测定。