【摘 要】
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在单晶硅晶体生长中,提拉速度的控制直接影响单晶硅的质量,如何提高速度控制系统的动态响应速度和抗干扰性能,对提高晶体生长质量具有重要意义。本文通过分析晶体结晶过程的
【机 构】
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河西学院机电工程系,河北化工医药职业技术学院机电工程系,天津大学电气与自动化工程学院
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在单晶硅晶体生长中,提拉速度的控制直接影响单晶硅的质量,如何提高速度控制系统的动态响应速度和抗干扰性能,对提高晶体生长质量具有重要意义。本文通过分析晶体结晶过程的热量运输,得出了单晶硅提拉过程中影响其质量问题的主要因素,提出了将PID神经元网络应用于单晶硅提拉速度控制系统中的方法,形成PID神经元网络提拉系统,建立了基于MATLAB/SIMULINK下的PID神经元网络控制系统模型,通过仿真结果表明,该系统对改善单晶硅的质量具有一定的实际意义。
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