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金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的关键工艺技术。为了实现真空蒸镀直接剥离7 mm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金属剥离技术。采用图形反转胶和正型光刻胶,实现了理想的光刻胶剖面图形,检测表明金属厚度达到7 μm。此技术已经用于高效太阳电池的批量生产中。空间环模条件考核表明此工艺制作的电极满足空间环境的要求。