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建立了ECR微波等离子体源离子输运的平板和圆柱模型，对离子历经的空间区域的输运过程进行了数值研究.采用MonteCarlo(M-C)方法模拟了存在外磁场情况下，离子离开放电室后历经中性区、鞘层区、最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程.考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射，统一处理了中性区和鞘层区电势的衔接.采用曲线拟合，电势自洽迭代方法把中性区和鞘层区衔接起来，得到了光滑自洽的电势分布曲线和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布及角分布.