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仪器化纳米压痕试验方法是研究纳米级金属涂层硬度的一种重要方法,国内外相关机构均对仪器化纳米压痕试验进行标准的制定和修订。该文分别从标准适用范围、试验方法、标准块的标定、仪器的校准与检验以及试验结果不确定度影响因素5个方面对ISO14577——2015、ASTME2546—15以及GB/T22458——20083个标准进行对比和分析。ISO14577——2015的适用范围广,对于仪器校准和检验的准确度要求高。GB/T22458——2008针对于微纳米范围内的试验,对试验环境、试样及其测试面、试验操作的要求更