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微波晶体管可用于高达6千兆赫的小信号放大器及高达4千兆赫的功率放大器。几乎所有的微波晶体管都是硅平面型。功率晶体管使用三种几何图型——指状组合型、覆盖式、网状式。小信号晶体管只用指状组合型。本文叙述了晶体管颇率响应的一般原理,包括钝化和非钝化元件在内。本文还扼要叙述了硅微波晶体管的设计和工艺过程。最后部分讨论了晶体管设计和分析中所采用的各种高频测量方法。