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四倍频晶体温度变化0.5℃会导致其效率降低20%,因此必须精确控制其温度。文中利用有限元软件ANSYS分析了一种四倍频晶体温控箱的温度场,计算了其大温差调节时温度场的变化过程,模拟了晶体瞬时温度波动的调节过程,并分析了水温波动对晶体框组件温度场的影响。分析结果表明温控箱能达到控温精度要求。
一种四倍频晶体温控箱的温度场分析
【摘 要】
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四倍频晶体温度变化0.5℃会导致其效率降低20%,因此必须精确控制其温度。文中利用有限元软件ANSYS分析了一种四倍频晶体温控箱的温度场,计算了其大温差调节时温度场的变化过
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2018年2期
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