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利用虚拟仪器技术和LabVIEW软件中提供的Levenberg-Marquardt算法,设计了一种半导体低频噪声参数自动测量系统.在功能上可以替代原由传统测试系统,完成OCDs器件的噪声互功率谱测量.同时可进行低频噪声谱参数拟合.该系统可为改进OCDs器件生产工艺,提高产品质量和可靠性提供理论依据.