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文中提出一种新的目标识别算法———形状尺寸对比度滤波器算法 ,它是在尺寸对比度滤波器的基础上 ,加上目标形状特征 ,克服了原单一回形结构算法的局限性 ,使算法可准确地识别具有特定形状和尺寸的目标。针对硅片对准八字标记 ,介绍了算法的基本原理和结构参数设计。通过对算法的分析及工程实际应用 ,有效地验证了该算法识别目标的正确性 ,并证实其特点。