基于光纤F-P腔的湿度传感器研究

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在理论和实验的基础上分析了光纤F-P腔湿度传感器的湿度敏感特性,使用了低精细度的光纤F-P腔分析理论,即只考率在两个反射面上反射功率最强的一次反射光。以陶瓷插芯固定光纤端面,并在此基础上制备高反射率银膜和多孔硅膜构成F-P结构,得到了在低于85%的相对湿度环境下,每0.6nm的波长漂移对应于10%的相对湿度变化,与传统湿度计5%的测量精度相比有了很大的提高,并且实验证明其具有较好的重复性和线性度。因此认为这种结构的湿度传感器具有很好的湿度传感性能。
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