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表面波等离子体（Surface-wave-sustained plasma，SWP）是近年发展起来的一种新型低压、高密度等离子体。应用这种技术，很容易实现镀膜过程中的离子束辅助沉积（IBAD），从而制备出性能优异的类金刚石薄膜（DLC）。本文介绍了一种新型的SWP源，说明了朗缪尔探针等离子体诊断的基本原理，研究了微波功率、靶电压、真空度等对等离子体特性的影响。测试了不同工艺条件下的等离子体密度，电子温度，等离子体电位，悬浮电位。研究结果表明，微波功率、靶电压和真空度等参数对等离子体特性具有重要的影响。结果