论文部分内容阅读
脉冲溅射是一种新型的、用于消除直流反应溅射中异常放电的技术.通过采用金属铝靶和自制的脉冲电源进行了氧化铝薄膜的脉冲磁控反应溅射沉积实验,讨论了脉冲溅射参数对异常放电的抑制效果,以及对氧化铝薄膜的沉积速率和折射率的影响.
脉冲溅射技术在氧化铝薄膜沉积中的应用
【摘 要】
：
脉冲溅射是一种新型的、用于消除直流反应溅射中异常放电的技术.通过采用金属铝靶和自制的脉冲电源进行了氧化铝薄膜的脉冲磁控反应溅射沉积实验,讨论了脉冲溅射参数对异常放
【机 构】
：
上海交通大学信息存储研究中心,东南大学薄膜研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2001年2期
其他文献
叙事心理治疗以社会建构论为基础,主要方法有故事叙说、问题外化、"由薄到厚"等。本文通过分析大学生哀伤心理疏导个案,论述了采用叙事疗法进行哀伤心理疏导的要求、方法与过
目的探讨剖宫产术中常见问题及护理措施。方法对156例剖宫产妊娠妇女进行术前访视,术中严密观察病情,配合医师加强术中常见问题的护理及术后及时回访。结果 156例孕妇未出现
施工现场的管理是每一个施工项目所必须面临的问题，施工现场的管理必须结合工程的性质和特点，只有这样才能确保工程建设顺利快速进行。就水利工程建设项目来说，作为工程建设中的
介绍了当前金融风暴对我国非织造布工业造成的冲击，分析了当前非织造布工业的现状，并对今后的发展提出了建议。
物联网正在快速发展,我们身边的许多设备通过互联网连接起来,人类迈进了物联智能时代。然而在众多设备连接到互联网上的同时,也为黑客提供了更多的攻击面,所以物联网的安全问
本文从选地整地、品种选择、播种技术要点、田间管理、病虫害防治、刈割和适期采收等方面介绍了天水地区紫花苜蓿种植技术,以期为紫花苜蓿新品系＂MF-13＂的生产应用提供参考。
本研究为国家“八五”中医药科技攻关项目的一部分,包括肉苁蓉、细辛、桑白皮、透骨草、山楂、鹿茸、续断、紫苏、土鳖虫、银柴胡、萱草根、栀子、石韦、豨莶草、车前等15类
根据高职机械设计课程教学特点，通过对机械制图、机械设计基础及机械设计基础课程设计等课程内容进行整合、重构与优化，使教学内容安排更加合理有序，利于学生接受、掌握和运用；将