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基于以往运动机构的研究通常采用刚体建模，不考虑重要结构部件柔性影响的缺点，提出了一种考虑机构中重要零部件柔性影响的刚柔耦合动力学建模方法，并将其应用于机构运动可靠性分析中；针对一算例机构，分别采用刚体和刚柔耦合建模方法进行了机构可靠性仿真计算，分析了两种模型对机构可靠性的影响。研究表明：刚柔耦合机构运动可靠性分析方法可行，使用刚柔耦合建模结果更加适用于复杂精密机构，且更接近工程实际。