【摘 要】
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以Ba(CH3COO)2、Sr(CH3COO)2和Ti(OC4H9)4为原料,以乙二醇甲醚为溶剂、冰乙酸为催化剂,应用溶胶-凝胶技术在Pt/MgO(100)衬底上成功地制备了处延生长Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.XRD
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以Ba(CH3COO)2、Sr(CH3COO)2和Ti(OC4H9)4为原料,以乙二醇甲醚为溶剂、冰乙酸为催化剂,应用溶胶-凝胶技术在Pt/MgO(100)衬底上成功地制备了处延生长Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.XRD和SEM分析结果表明,该薄膜在O2气氛中650 °C热处理1 h后,其(001)面是沿着Pt(100)和MgO(100)面外延取向生长的,其平均晶粒大小为48.5 nm.电性能测试结果表明,当测试频率为10 kHz时,其介电常数和损耗因子分别为480和0.02.电滞回线测试
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