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为保证工业化生产多晶硅工艺的安全、连续与可靠性,设计可燃H2、有毒有害气体HCl和Cl2检测系统,及时检测出管道的泄漏点,并与暖通空调系统联动排出厂房内的可燃和毒害气体。
可燃及有毒有害气体检测系统在多晶硅生产中的应用
【摘 要】
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为保证工业化生产多晶硅工艺的安全、连续与可靠性,设计可燃H2、有毒有害气体HCl和Cl2检测系统,及时检测出管道的泄漏点,并与暖通空调系统联动排出厂房内的可燃和毒害气体。
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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化工自动化及仪表
【发表日期】
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2013年6期
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