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采用柠檬酸盐法制备铌酸锂铁电薄膜。探讨了柠檬酸（CA）和乙二醇（EG）的用量、pH和水浴温度等工艺参数对溶胶性能的影响。采用XRD和TG—DTA研究了铌酸锂（LiNbO3）晶相的形成过程，用XRD和AFM对所制得薄膜的物相组成和表面形貌进行了表征。结果表明，当前驱体溶胶的pH为7．5，水浴温度大于80℃，n（CA）：n（Li＋Nb）=3：1，n（CA）：n（EG）=1：2时，可以获得稳定性好的溶胶。薄膜经缓慢升温至800℃热处理，可以获得单相、表面光滑、晶粒大小均匀、晶粒大小为70nm的LiNbO3铁电薄