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利用正硅酸乙脂（ＴＥＯＳ）的碱催化、溶胶－凝胶法制备多孔ＳｉＯ２增透膜。较详细地研究了工艺参量Ｈ２Ｏ／ＴＥＯＳ摩尔比对薄膜结构和性能的影响。结果表明，随Ｈ２Ｏ／ＴＯＳ摩尔比的增大，薄膜厚度、折射率和致密度减小；而薄膜透射率增大。
水含量对溶胶—凝胶SiO2增透膜结构和性能的影响
【摘 要】
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利用正硅酸乙脂（ＴＥＯＳ）的碱催化、溶胶－凝胶法制备多孔ＳｉＯ２增透膜。较详细地研究了工艺参量Ｈ２Ｏ／ＴＥＯＳ摩尔比对薄膜结构和性能的影响。结果表明，随Ｈ２Ｏ／ＴＯＳ摩尔比的增大，薄膜厚度、折射率和致密度减小；而薄膜透
【机 构】
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上海铁道大学基础部,中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2000年11期
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