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本文从反应室的几何结构出发初步讨论了气体流型对光CVD SiO2薄膜均匀性的影响并初步讨论了反应室压力、气体流量对光CVD SiO2薄膜均匀性的影响.
反应室结构与工艺参数对光CVD SiO2薄膜均匀性的影响
【摘 要】
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本文从反应室的几何结构出发初步讨论了气体流型对光CVD SiO2薄膜均匀性的影响并初步讨论了反应室压力、气体流量对光CVD SiO2薄膜均匀性的影响.
【机 构】
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西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系,西安电子科技大学物理系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1989年06期
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