论文部分内容阅读
利用磁致溅射方法在玻璃基片上沉积不同厚度的铜膜。利用台阶仪、反射光谱法、四探针电阻法分别测量铜薄膜的形状膜厚、光学膜厚、电阻膜厚。总结了三种方法的测量精度、测量范围和局限性。
不同方法测量铜薄膜厚度的比较
【摘 要】
：
利用磁致溅射方法在玻璃基片上沉积不同厚度的铜膜。利用台阶仪、反射光谱法、四探针电阻法分别测量铜薄膜的形状膜厚、光学膜厚、电阻膜厚。总结了三种方法的测量精度、测量
【机 构】
：
重庆大学,重庆大学物理实验国家级教学示范中心
【出 处】
：
大学物理实验
【发表日期】
：
2018年1期
其他文献
目的以临床病历分析为基础，探讨进展性脑梗死患者的危险因素。方法对我院住院的进展性脑梗死患者45例和稳定性脑梗死患者45例进行对比分析，并对进展性脑梗死的多种相关因素进行
年代尺原本是为了方便学者对历史的研究,特意做成的反映不同历史年代及其大事的记录工具。通过课前、课中、课尾巧妙设计,运用年代尺,整合教学内容,开展教学活动,既能有效培