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采用钨丝做掩模,进行倾斜的离子注入优化电流限制区,制作出室温连续的垂直腔面发射激光器件.该器件的最低阈值电流为1.4 mA,串联电阻约207 Ω, 输出光功率超过1 mW.
钨丝掩模二次倾斜离子注入850 nm室温连续垂直腔面发射激光器
【摘 要】
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采用钨丝做掩模,进行倾斜的离子注入优化电流限制区,制作出室温连续的垂直腔面发射激光器件.该器件的最低阈值电流为1.4 mA,串联电阻约207 Ω, 输出光功率超过1 mW.
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,吉林,长春,130023中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室,北京,100083;
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年2期
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