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非极性GaN薄膜与器件的研究进展
非极性GaN薄膜与器件的研究进展
来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abc262648312
【摘 要】
:
在传统的衬底上生长出的GaN都是沿着极性轴c轴方向的,非极性GaN薄膜克服了极性薄膜中因为产生内建电场而带来的发光效率和结晶质量的问题。本文主要介绍了非极性GaN薄膜的结
【作 者】
:
孙孪鸿
徐家跃
邹军
王凤超
【机 构】
:
上海应用技术学院
【出 处】
:
硅酸盐通报
【发表日期】
:
2014年10期
【关键词】
:
非极性GaN
蓝宝石
同质外延
GaN基器件
non-polar GaN
sapphire
homo epitaxial
GaN based device
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在传统的衬底上生长出的GaN都是沿着极性轴c轴方向的,非极性GaN薄膜克服了极性薄膜中因为产生内建电场而带来的发光效率和结晶质量的问题。本文主要介绍了非极性GaN薄膜的结构特性、薄膜的制备方法、不同衬底上生长非极性GaN薄膜的研究进展及其器件应用。
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