砷化镓外延层纵向浓度分布均匀性的改善

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：killall2009

【摘要】

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【作者】

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张瑞荣刘学如

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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外延层浓度分布砷化镓外延气相腐蚀外延炉分布均匀性

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