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本文报道一种高灵敏度分束干涉型ＬＣＤ盒间隙厚度测量仪，并重点介绍其两项关键技术，干涉条纹级的彩色识别法和光楔干涉定标法，要精确测量液晶盒间隙厚度，必须准确测定基准和测量这两组干涉条纹间的距离，因而必须准确识别干涉条纹的级次。强度识别法的测量精度易受随机噪声的影响。本文提出条纹级次的彩色识别法，利用这种方法，测量精度可以大幅度提高，定标是测厚仪的另一关键技术。本文提出独特的光楔干涉定标法。文中给出了