GaN和AlxGa1—xN薄膜材料研究进展

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GaN及AlxGa1-xN是发兰光的关键材料,是目前光电子材料中最引人注目,必须攻克的课题。本文综述了GaN及AlxGa1-xN材料的研究现状重点介绍了GaN及AlxGa1-xN材料近年来在性能评价,生长技术和应用开发方面的进展。
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