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为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响，利用半经典模型，采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格-库塔算法，模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构，研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明，基片摆放位置不同，沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变；当衍射边到反射镜的距离为0．81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0．01 mm时，纳米光栅的半峰全宽最小，同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导