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提出了一种微型光谱仪，该微型光谱仪基于法布里-珀罗腔滤波性的阵列式微型光谱仪。其基本结构是在硅基底上实现多个不同腔长的阵列，从而实现对多个波长的监测。探测单元即为一个法布里-珀罗腔，由硅基底-金属薄膜-二氧化硅层-金属薄膜构成。进行了相应的模拟计算，结果表明在基本结构为铝膜（14nm）～SiO2-银膜（39nm）的情况下，通带半宽度可达到15nm，单个探测单元面积仅为0．14mm×0．14mm即可达到微型光栅式光谱仪（最小体积在cm量级）的光通量，整个光谱探测部分体积仅在mm量级。该微型光谱仪设