FORWARD GATED-DIODE R-G CURRENT METHOD:A SIMPLE NOVEL TECHNIQUE FOR CHARACTERIZING LATERAL LIGHTLY D

来源 :电子科学学刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuhuafenghao

【摘要】

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This paper presents a simple novel technique-forward gated-diode R-G current method-to determine the lateral lightly-doped source/drain (S/D) region interface s

【作者】

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He Jin Huang Aihua Zhang Xing

【机构】

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InstituteofMicro-electronics

【出处】

：

电子科学学刊：英文版

【发表日期】

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2001年2期

【关键词】

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Gated-diode R-G current MOSFET LDD REGION INTERFACE STATE INTERFACE STATE densit

【基金项目】

：

Motorola CPTL

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This paper presents a simple novel technique-forward gated-diode R-G current method-to determine the lateral lightly-doped source/drain (S/D) region interface state density and effective surface doping concentration of the lightly-doped drain (LDD) N- MOS

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