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采用红外、色质联用、热重分析、元素分析等手段对含乙烯基硅氮烷的裂解过程进行研究，发现裂解主要发生在473－673K和673－1023K两个阶段。在第一阶段，NH3的生成缘于转氨基作用，H2的生成可能是Si－H键间（或与N－H键）偶合的结果；在第二个阶段，H2、CH4和低分子烷烃的生成则遵循自由基反应机理。硅氢化或亚甲基插入反应导致高温裂解产物中含有大量富余碳。