基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 6次 | 上传用户：tai_2036580

【摘要】

：

针对基于SEM的遥控纳米操作系统中快速有效的获取探针的平面及深度信息这一问题,提出了边缘检测算法+遍历比较+预测补偿的方法对探针的X-Y方向位置信息进行提取.通过对SEM二维图像隐含信息的统计分析,提出了基于兴趣区域的灰度方差统计对探针Z向位置(深度)进行提取的方法.最后,对某次纳米线转移实验中采集到的实时SEM图像进行探针针尖的x-y方向信息提取及Z向位置与图像方差进行MATLAB拟合,证明了上

【作者】

：

李东洁邹佳鸥宋鉴张丽

【机构】

：

哈尔滨理工大学自动化学院

【出处】

：

哈尔滨理工大学学报

【发表日期】

：

2013年06期

【关键词】

：

纳米操作信息提取 SEM图像 nanomanipulation information extraction SEM images

【基金项目】

：

国家自然科学基金青年基金（51105117）,哈尔滨市科技创新人才研究专项资金（2012RFQXG075）,哈尔滨理工大学青年拔尖创新人才培养计划资助（2013）.

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