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用磁控溅射的方法在硅衬底上制备了二氧化钛薄膜，并通过改变薄膜沉积过程中氧气含量、溅射时间、工作压强、衬底温度等溅射参数，制备了系列薄膜样品，得到了二氧化钛薄膜两种相结构的最佳生成条件。研究表明：较高的工作压强有利于金红石结构的生成；衬底加热、增加沉积时间有利于生成锐钛矿结构；氧气含量的变化对薄膜的相结构没有明显影响。