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异质结应变层的临界厚度的确定
异质结应变层的临界厚度的确定
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:goodyyl00
【摘 要】
:
简要介绍了异质结的临界厚度,叙述了计算临界厚度的两种理论和其实验值.
【作 者】
:
白利伟
胡礼中
【机 构】
:
大连理工大学物理系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
异质结
应变层
临界厚度
失配位错
半导体
heterostructure
strain layer
critical layer thickness
m
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简要介绍了异质结的临界厚度,叙述了计算临界厚度的两种理论和其实验值.
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