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本文简要介绍了TZ—210自动多探针电控系统的组成。重点阐述提高工作台的运行速度、增强整机性能和提高可靠性的控制技术和软件措施。
TZ—210型自动多探针电控系统
【摘 要】
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本文简要介绍了TZ—210自动多探针电控系统的组成。重点阐述提高工作台的运行速度、增强整机性能和提高可靠性的控制技术和软件措施。
【机 构】
：
机械电子工业部第45研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1989年4期
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