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设计了一种应用于扫描电镜的四自由度并联定位平台.该平台结构简单,便于集成微操作装置和实现微结构物性在线检测.为使所设计的定位平台具有高的定位精度,建立了平台的误差矢量模型.通过模拟仿真手段分析了结构误差和上平台分支分布对平台末端定位精度的影响,分析了在大载荷作用下机构在非自由度方向产生的角位移输出.