【摘 要】
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集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了基于MZI光波导的MOEMS压力传感器，探讨了工作原理，分析了弹性薄膜尺寸对应力
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集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了基于MZI光波导的MOEMS压力传感器，探讨了工作原理，分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸（a=2mm，b=1mm，h=20μm）和选用波长为1，31μm的单模激光，得到传感器的灵敏度为1．84x10～kPa，半波压力为85kPa．
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