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研制了一种全内反射型ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ光波导开关。采用氧离子注入形成的高阻特性来作为载流予注入区的隔离。由此获得陡峭的反射面，改善了光开关的性能．在入射光波长为１．３ｕｍ，注入电流为３２ｍＡＴ得到光开关反射端消光比为１８ｄＢ，无注入时的关态串话为－１９ｄＢ．
氧离子注入隔离的全内反射型光波导开关
【摘 要】
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研制了一种全内反射型ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ光波导开关。采用氧离子注入形成的高阻特性来作为载流予注入区的隔离。由此获得陡峭的反射面，改善了光开关的性能．在入射光波长为１．３ｕｍ，注入电流为３２ｍＡＴ得到光开关反
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1996年2期
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