100W XeCl准分子激光器的放电特性

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通过对一台放电泵浦的100WXeCl准分子激光器进行实验,给出了放电波形和放电能量在激光气体中的耦合情况。 Through the experiment of a discharge-pumped 100WXeCl excimer laser, the coupling between discharge waveform and discharge energy in laser gas is given.
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