【摘 要】
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本文在大量实验的基础上。证实了从低熔点焊料中挥发出的PbO、ZnO在碱金属(K、Na、Cs)气氛的作用下,还原出Pb和Zn,这些Pb和Zn对电子轰击硅靶靶面造成了严重的污染。以此为根
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本文在大量实验的基础上。证实了从低熔点焊料中挥发出的PbO、ZnO在碱金属(K、Na、Cs)气氛的作用下,还原出Pb和Zn,这些Pb和Zn对电子轰击硅靶靶面造成了严重的污染。以此为根据,建立了导致污染的数学物理模型,用此模型能很好地解释所有的污染现象,揭示了这一污杂的本质。最后,给出了解决低熔点焊料对SEM管硅靶污染的方法。
This article is based on a large number of experiments. It has been confirmed that PbO and ZnO which are volatilized from a low-melting-point solder material reduce Pb and Zn under the action of an alkali metal (K, Na, Cs) atmosphere, and these Pb and Zn cause serious contamination of the target surface by electron bombardment of the silicon target . Based on this, a mathematical and physical model of pollution was established, which can explain all the pollution phenomena well and reveal the essence of this pollution. Finally, a method to solve the problem of low melting point solder contamination of the SEM silicon target is given.
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