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【摘 要】
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采用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWPCVD)技术,以SiH4作为源反应气体在Si(100)和玻璃衬底上制备了纳米Si薄膜.通过X射线衍射(XRD)、Raman光谱、原子力显微镜(AFM)对所制备的
【机 构】
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河北大学
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2004年2期
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