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在太赫兹技术应用系统中，太赫兹混频器是太赫兹接收前端的关键部件，而太赫兹肖特基二极管是太赫兹混频器的核心器件。本文采用信号完整性的方法对肖特基二极管在无源区的特性进行建模分析，并对不连续性、寄生电容等参数进行分析。根据肖特基二极管设计的物理参数，如尺寸、材料的介电常数等，在高频结构仿真器（HFSS）中对肖特基二极管进行建模。通过多次建模仿真，最终给出肖特基二极管的等效电路模型。通过对比HFSS中提取二极管欧姆焊盘的s参数和Ansoft—designer中对二极管欧姆焊盘的等效电路进行仿真得到的5参数，证明