平面型2.6μmInGaAs红外探测器变温特性研究

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通过闭管扩散方式,在NIN型InP/In0.82Ga0.18As/InP材料上制备了单元及八元平面型红外探测器件,研究了器件的光谱响应特性、变温电流-电压特性以及器件探测率的温度响应特性。研究表明,不同温度下,在较低的偏压下,器件的正向暗电流的主要成分为源于材料缺陷的产生-复合电流,随着电压增大,器件的电流将会受到串联电阻的限制而趋于饱和。在近室温(〉250K)下,器件的反向电流主要以扩散电流和产生-复合电流为主,随着温度降低(〈158K),与偏压成正比的隧穿电流将占优势。温度〉158K时,器件的R0A值
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