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微机电系统(MEMS)是把微小的机械和电子功能集成在单一芯片上，虽然很难确切地讲何种功能可以通过MEMS实现，但这种技术已经在过去20年来得到广泛关注和应用。从汽车、计算机、消费类电子产品，到工业控制、军事、医学应用，几乎所有应用领域都可见到MEMS技术的踪影。
HEHS技术可助手机厂商提高竞争力
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)是把微小的机械和电子功能集成在单一芯片上，虽然很难确切地讲何种功能可以通过MEMS实现，但这种技术已经在过去20年来得到广泛关注和应用。从汽车、计算机、消
【机 构】
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河北东光职教中心
【出 处】
：
电子产品世界
【发表日期】
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2005年06B期
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