论文部分内容阅读
论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块。在应用方面，论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用，最后论述了激光气体的安全使用，防止对工作人员造成伤害。
Cymer准分子激光器的工作原理及应用
【摘 要】
：
论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块。在应用方面，论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用，最后论述了激光气体的安全使用，防止
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所,清华同方
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2008年7期
其他文献
信息技术的发展,使得以"互联网+"为驱动的创新发展格局正在形成,以"互联网+公安"拉动公安文化建设,是对公安文化的网络延伸和拓展。本文就"互联网+"背景下如何强化公安文化建
我国现普通采用的单周期和双周期训练周期安排有其不足,应该根据情况的变化,把近期要求和长远发展结合起来,采用短周期和长周期相结合的方式,合理安排训练周期。
依据宁夏1951—2008年月降水及气温资料,计算了可利用降水序列。运用地统计方法、小波分析法及气候趋势系数等方法分析了宁夏近58年来可利用降水量的空间分布及多时间尺度变
<正>终端价格问题尽管两项自贸协定于2015年12月20日已正式生效,但国内消费者要想享受全部产品优惠还要等上一段时间,此次自贸区降税范围虽然广泛,但短时间内部分优惠无法立
“警力”是警察对社会治安的综合控制力。就上海市的警力现状而言，警负数与人口之比已与发达国家的国际大城市基本持平，警务经费也保持了与经济发展的同步增长，因此，要提高警力必
目的:为探讨艾灸足三里穴启动的内源性信息对胃黏膜的修复效应与脊髓的关系,本研究选择性地切断实验动物神经通路中的脊髓,应用组织形态学、生化及分子生物学等方法,观察艾灸
"以德兴国、以德立人"。党的十八大以来,习总书把道德建设提升到中华民族伟大复兴战略高度,既有历史传承,又有时代特征,体现了新时期中国共产党人与时俱进的道德风范和古为今
<正>无锡,别名梁溪,简称锡,位于江苏省东南部,长江三角洲腹地,北临长江、南靠浙皖、东邻苏州、西接常州、中抱太湖,是华东地区重要交通枢纽、全国经济中心城市,也是沪宁线上
随着国内工业自动化的快速发展,在冲压行业,PLC控制已经基本成为主流控制,而随着冲床整体性能的提升,安全系数的不断提高,作为电气控制的核心部件PLC,不管是冲床生产厂家还是
目的:建立一种仿制药研发中快速筛选常释口服制剂处方辅料比例的方法,使溶出达到一致。方法:诸多国家的药政部门在仿制药的指导原则列明,仿制药申报时需要提供与参比制剂质量